C30B 31/00 - Способы диффузии или легирования монокристаллов или гомогенного поликристаллического материала с определенной структурой; устройства для этих целей [3,5]

---

31/02

.

контактированием с диффузионным материалом в твердом состоянии [3]

31/04

.

контактированием с диффузионным материалом в жидком состоянии [3]

31/06

.

контактированием с диффузионным материалом в газообразном состоянии (C30B 31/18 имеет преимущество) [3]

31/08

.

.

с диффузионным материалом, являющимся соединением элементов, способным к диффузии [3]

31/10

.

.

реакционные камеры; выбор материала для них [3]

31/12

.

.

нагревание реакционной камеры [3]

31/14

.

.

держатели или приемники подложек [3]

31/16

.

.

средства для подачи или выпуска газов; изменение потока газов [3]

31/18

.

.

управление или регулирование (управление или регулирование вообще G05) [3]

31/20

.

легирование путем облучения электромагнитными волнами или облучения частицами [3]

31/22

.

.

ионным внедрением [3]